لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ رومیزی سه کاتد

لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ رومیزی سه کاتد 

سیستم مگنترون اسپاترینگ سه کاتد مدل ASSC یک سسیستم لایه نشانی کامل و کارا است که دارای ویژگی های، تعمیر و نگهداری آسان، سرعت بالا برای ساخت نمونه ها، کم حجم و سبک و قیمتی بسیار مناسب است. این سیستم دارای پمپ توربو، محفظه ای بزرگ و سه عدد کاتد مگنترون اسپاترینگ آبگرد می باشد که امکان لایه نشانی پیوسته بدون محدودیت زمانی و بدون آسیب به کاتد ها بر اثر گرمای حاصل را فراهم می‌سازد.

وجود پمپ توربو، سیستم را قادر می سازد تا با رسیدن به فشارهای پایین و دسترسی به خلأی تمیز (سیستمهای دارای دیفیوژن معمولا کمی برگشت بخار روغن دارند) علاوه بر فلزات نجیب مانند طلا، نقره، و پلاتین ، فلزات دیگری مانند مس، کرم، تنگستن، مولیبدن، آلومینیوم و … را بتوان لایه نشانی کرد.

در صورت تمایل کاربر، میتوان به صورت انتخابی یک منبع تغذیه RF به سیستم اضافه نمود تا به کمک آن بتوان هدفهای غیر فلزی و نیمه هادیها را نیز لایه نشانی کرد. این سیستم قادر به ایجاد ۳ لایه مختلف بر روی زیر لایه و به تعداد دفعات دلخواه می باشد. نرم افزار پیشرفته دستگاه حداکثر اطلاعات از فرایند لایه نشانی را در اختیار کاربر قرار داده و این اطلاعات را میتوان ذخیره و به کامپیوتر شخصی منتقل کرد.